ACCURA II

TOC 측정에서 끊김없는 모니터링은 현대의 높은 처리량 생산 공정에서 필수 조건입니다. T&C Technical은 20년 전부터 그 실현을 위해 TOC계의 연속 측정 기술의 개발, 그리고 그 장점을 국내, 해외의 많은 고객에게 제공해 왔습니다. 케이스 하나로부터 국내에서 설계·개발을 실시해 펌웨어로부터 하드의 모든 것에 일본 특유의 세세한 배려가 이루어지고 있습니다.

TOC계의 생명인 센싱 유닛, 그리고 장기 이용을 위해서 빠뜨릴 수 없는 소모품까지, 국산 특유의 안정된 품질 관리를 실시하고 있습니다. 측정뿐만 아니라 유지 관리 및 안정적인 공급과 함께 현대 생산 공정의 효율성을 세 가지 TOC 계 모델로 지원합니다.

반도체 산업용 수세 공정에 사용되는 초순수나 제약 산업용 WFI(주사용수), PW(정제수)에는 TOC(총유기탄소)가 포함되어 있어 단파장(184.9nm) 중간 구조를 거쳐 최종적으로 이산화탄소로 산화됩니다.

배치 시스템으로 측정하거나 샘플수를 장비에 공급하기 위해 펌프와 같은 일부 가동부를 사용하는 것이 기존 방식이었습니다. ACCURA 시리즈는 각 측정 기술의 단점을 보완하여 순간적인 TOC 증가(물 수질이 충분히 변화함을 의미)를 감지할 수 있습니다. 그리고 이러한 ACCURA 분석기는 무료 유지 관리 및 운영 비용 절감도 실현할 수 있습니다.

ACCURA 시리즈는 자외선 조사, 물의 양, 잘 제어된 측정 알고리즘을 적용합니다. 이를 통해 ACCURA는 시료수의 산화 전후 전도율 변화를 지수화하고 계산하여 TOC(총유기탄소)를 측정할 수 있습니다.

ACCURAII는 TOC 측정기술에 좋은 자연의 유전자만을 계승하여 TOC 측정기기를 나날이 발전시켜 나가고 있습니다. 이로써 ACCURA는 전 세계 CS 100% TOC 분석기가 되기를 바랍니다.

반도체 및 액정 산업을 위한 초순수용 온라인 TOC 분석기

ACCURA-R II 및 ACCURA-SX II는 반도체 산업용 초순수에서 TOC를 측정할 수 있으며, 지속적이고 충분하게 TOC를 측정할 수 있습니다. ACCURA는 수질이 갑자기 변할 때(초순수의 TOC 양에 변화가 있으면 분석기가 즉시 감지함)와 같은 다음과 같은 목적으로 개발되었으며, 제품의 큰 개선에 기여할 것입니다. 고객으로부터 수익을 얻습니다. 동시에 1차 순수, 2차 초순수 및 사용처에 대한 신뢰성을 갖춘 TOC 측정을 저렴한 비용으로 실현합니다.

T&C Technical은 또한 도시의 용수 측정, 재생수 측정 및 폐수 측정을 위한 TAC-EVOLUTION-II, 1차 및 2차 순수 측정을 위한 ACCURA-R II, 사용 지점 측정을 위한 ACCURA-SX II를 제공합니다. 따라서 구축 수계 시스템의 입구부터 출구까지 TOC 품질 관리의 전체 관리를 제공할 수 있습니다.

ACCURA 시리즈가 고객의 초기 운영 비용 절감에 기여한다는 것은 의심의 여지가 없으며 고객에게도 큰 도움이 될 것입니다.

▣ ACCURA 작동 원리

첫째, 시료수는 유입되는 시료수의 변동이나 과도한 유량을 방지하는 압력 조절기를 통과합니다. 둘째, 유입되는 시료수는 조절기를 거쳐 두 개의 경로로 분리되며, 다량의 시료수는 시료수의 비저항과 온도를 측정하는 센서 3을 통과하고, 이 시료수는 바이패스 아웃포트를 거쳐 배수구로 흘러갑니다.

조절기를 통과한 후 분리된 남은 시료수는 시료수의 전도도 및 온도를 측정하기 위한 센서 1을 통과합니다.

이 물은 185nm UV 조사를 위해 UV 산화 챔버를 통과하며, 이곳에서 시료수의 유기물을 CO2로 변환합니다. 현재 물 전도도가 증가하는 CO2는 센서 2에 의해 측정됩니다. 산화된 시료는 미세 유량 제어 조정 기능이 있는 유량계를 통과한 다음 산화된 출력 포트를 통해 배수구로 이동합니다.

ACCURA의 CPU는 초기 물 전도도 및 온도, 2차 전도도 및 온도의 측정값을 사용하여 생성되는 CO2 농도에 비례하는 시료 전도도의 변화를 결정합니다. ACCURA의 알고리즘은 유속과 함께 차동 전도도와 온도를 시료수에 존재하는 유기 탄소 값으로 변환합니다.

▣ ACCURA의 장점

USP/EP, CE 승인
TOC 1ppb 이하의 초순수에 완전 대응한 TOC
완전한 인라인 연속 측정이 가능한 TOC
풍부한 네트워크 기능
고출력 UV 램프 채용
특수 가공 UV 산화 챔버 채용
쉬운 조작, 유지 관리가 필요없는 사용자 친화적인 TOC
시약 · 캐리어 가스를 사용하지 않는 TOC
TOC 계기 내접액부로부터 오염 발생이 없음
시약 교정 및 측정시의 샘플경로가 동일함

▣ ACCURA 내부 구조

▣ ACCURA 각부 명칭

1	LIQUID CRYSTAL SCREEN	2	KEY OPERATION PANEL	3	HANDLE	4	NEEDLE VALVE
5	GLASS FLOW METER	6	PORT FOR EXCHANGE OF UV LAMP	7	RS232C PORT	8	POWER SUPPLY PORT FOR PRINTER
9	TERMINAL STAND	10	MAIN POWER SUPPLY SWITCH	11	PORT FOR POWER SUPPLY OF EQUIPMENT	12	OXIDIZED WATER OUTLET
13	BYPASS WATER OUTLET	14	SAMPLE WATER INLET

▣ 제품 사양

항목	반도체 · 초순수	반도체·액정 초순수	의약·제약 WFI/PW
모델	TAC-ACCURA-SXII	TAC-ACCURA-RII	TAC-ACCURA-HII
측정 방식	UV 산화 도전율 검출 방식
측정 범위	0.01-30.000ppb	0.1-999.99ppb	0.1-999.99ppb
반복성	±0.05ppb	±0.1ppb
분해능	0.001ppb	0.01ppb	0.01ppb
샘플 수량	약 100mL/min ※1
샘플 수압	0.03-0.5Mpa
샘플 수질	＞10MΩ/cm	＞1MΩ/cm	＜20μ/cm
샘플 수온	15-40℃	5-50℃	5-99℃
주변 온도	5-40℃	5-40℃	5-40℃
주변 습도	5－80%RH(결로 없을 것)
전원・소비 전력	AC100～240V±10%, 50/60Hz, 약 50W 유니버설 사양
크기	W327×H216.5×D369mm ※2
알람 출력	2접점 릴레이, 접점 용량：ＡC125V/0.4A 이하, DC30V/2A 이하
무게	약 5.7Kg
출력 신호	4-20mA DC(TOC, 도전율, 수온 중 하나를 선택 가능)
통신	RS232C, RS485
프린터	RS232C 프린터 포트로 연결
시약	불필요
산화제	불필요
캐리어 가스	불필요
옵션	1)시료수 자동전환장치 2)시료수 희석장치 3)무기탄소제거장치 4)고순도공기공급유닛
옵션	5)오프라인 측정용 펌프 (※ 일부 기종에는 적응하고 있지 않습니다)

※1 총 유량은 고객의 사용 상황에 따라 변경될 수 있습니다.
※2 D369.1mm에는 터미널 스탠드가 포함되어 있습니다.